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Mikroskopie und Partikelmessung im Mikro- und Nanometerbereich

Prof. Dr.-Ing. Arno Kwade   Dr.-Ing. Ingo Kampen

Vorlesungsinhalt

In der Vorlesung werden Verfahren zur Messung von Abmessungen und Eigenschaften kleiner und kleinster Objekte und Strukturen vermittelt. Sie ersetzt die bisher angebotene Vorlesung Partikelgrößenmesstechnik.
Folgende Messverfahren werden behandelt:
  • Rastersondenmikroskopische Verfahren (u.a. Rastertunnelmikroskopie, Rasterkraftmikroskopie)
  • Lichtmikroskopische Verfahren (u.a. Fluoreszenzmikroskopie, konfokale Mikroskopie)
  • Elektronenmikroskopie (u.a. Transmissionselektronenmikroskopie, Sekundärelektronenmikroskopie)
  • Verfahren der Partikelgrößenanalyse (u.a. Sedimentationsverfahren, Laserbeugungsspektrometrie, Photonenkorrelationsspektroskopie, Ultraschallspektrometer)